Pôle MEB-EDX-STEM-LITHO (plateforme CARISMA)

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Présentation

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Le pole MEB-EDX STEM-Litho est une des plateformes de l’ITODYS. Elle est ouverte à la communauté scientifique académique et industrielle.
-Il est implanté dans le bâtiment Lavoisier.
-Il permet d’imager différents types de surfaces et de caractériser les propriétés chimiques de tous les types de surface, avec une résolution nanométrique.
-Il permet aussi de remonter à la composition élémentaire et à la répartition des éléments chimiques des objets étudiés.
-Il complète le MEB en fournissant des informations sur la morphologie et la structure réservées au MET, grâce au détecteur STEM
-Il permet également la fabrication de diverses nanostructures sur différentes surfaces par lithographie E-beam.

Activités

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Expertises

Les objets et les matériaux imagés et analysés peuvent être des matériaux et des nanomatériaux solides (métaux et alliages, céramiques, polymères, matériaux massifs,
poudres ou films minces, micro-organismes .). Il est possible :
– d’imager la morphologie et la topographie avec une résolution nanométrique
– d’identifier les phases par contraste chimique
– de déterminer la composition élémentaire quantitative
– d’estimer l’épaisseur d’une couche mince- de métalliser les surfaces
– de sécher les surfaces : Le séchage supercritique
– de fabriquer des nanostructures sur des surfaces ITO, silicium et verre.

le pole travaille avec différents laboratoires académiques et industriels dans des domaines scientifiques variées et avec un champ de collaborations large (chimistes,
physiciens géochimistes, biologistes).

Equipements

Le pole est équipée de deux microscopes électroniques à balayage :
– Un MEB-FEG Zeiss avec une résolution de 1 nm/15 kV – 1.9 nm/ 1 kV
– Un MEB Zeiss GeminiSEM 360 avec une résolution de 0.7 nm/15 kV – 1.2 nm/1 kV

MEB-GeminiSEM 360 est couplé à:
-Un détecteur de rayons X (Oxford -Ultim Max 170 mm2) pour la micro-analyse élémentaire
-Un détecteur rétractable à cinq segments capte les électrons rétrodiffusés pour un contraste chimique efficace.
-Un détecteur d’électrons transmis produit des images STEM en champ sombre ou clair.

MEB-SUPRA 40 est couplé à:
-Un système de lithographie électronique (Nabity, NPGS) pour la fabrication des nanostructures

PRÉPARATIONS

– Évaporateur pour la métallisation des surfaces isolantes : Carbone Gressington Carbon Coater 108carbon et un métaliseur platine, or, cobalt, chrome, ITO : Gressington 208HR
– Évaporateur dédié au processus de lithographie : Plassys MEB 400
– Un instrument pour sécher les surfaces biologiques ( Le séchage supercritique) : Leica EM CPD300

Services proposés

le pole propose un accompagnement complet des utilisateurs académiques et industriels : des préparations des échantillons, à l’analyses des données,
et jusqu’à leur interprétation.
-Les utilisateurs internes sont formés à l’utilisation des instruments et réalisent eux-mêmes leurs expériences sous la supervision de la responsable opérationnelle du pole.
-Le pôle est ouvert pour former des utilisateurs externes.
-le pole développe régulièrement ses savoir-faire et ses équipements/accessoires avec le réseau de plateformes du groupe national de microscopie électronique
-et micro-analyse (GNMEBA) et le réseau international de Microscopie électronique RIME.
-Le pôle organise chaque année des journées de formation en collaboration avec la société ZEISS